|
|
|
|
 |
|
|
|
|
|
|
 |
 |
|
|
 |
|
レーザースクライビング用保護膜剤エマルシトーンＥＭＳ１１４６は、ポリマー水溶液でサブストレートに塗布し、レーザースクライブで生じる欠けやチッピングさらにスクライブ塵からサブストレートを保護する膜をつくります。
使用後は、水で容易に除去することができます。
|
|
|
|
|
|
|
|
使用方法 |
|
|
|
|
|
レザースクライビング用保護膜剤エマルシトーンＥＭ1146はスプレー、スピンコーター、ディピングなどの方法で塗布できます。スピンコーターを使用の場合には、3,000RPM・20〜30秒で、3,000Åの膜厚が得られ、即時使用できます。
スプレーやディピングの場合には、35〜50℃で15〜20分間加熱してください。
|
|
|
注:膜厚Å（オングストローム）、Å＝10＾-10ｍ＝10＾-4μｍ。3000Å＝0.3μｍ |
|
仕 様 |
|
|
|
|
|
|
| 液 物 性 |
密 度 |
1.0〜1.3g/ml(25℃) |
|
| 粘 度 |
6.7cp.(25℃) |
|
|
|
|
| 不純物濃度 |
Ｎａ：＜１ppm |
Ｚｎ：＜１ppm |
Ｋ ：＜１ppm |
Ｆｅ：＜１ppm |
|
| Ｃｕ：＜１ppm |
Ｎｉ：＜１ppm |
Ｍｎ：＜１ppm |
|
|
|
|
|
|
|
|
保護膜の物性 |
|
|
|
| 膜 厚 |
スピンコーターを使用の場合には、3,000RPM・20〜30秒で3,000Åの膜厚が得られますが、回転速度を遅くすると膜厚が増加します。厚さはスピン速度の平方根に逆比例します。
スプレーやデイピングの場合には、10,000Å以上の膜厚になります。
特別の膜厚が必要な場合には、高濃度の物もお作り致します。
|
|
|
|
|
| 光学特性 |
屈 折 率 |
1.50 |
|
| 光透過性 |
2,500Å 78％ |
| 3,000Å 73％ |
| 4,000Å 80％ |
| ※無色透明の膜ですが、1.5〜５μｍの赤外線では、半透明になります。 |
|
|
|
|
| 耐 熱 性 |
200℃で保護膜は分解します。水洗いが好ましくない場合には、空気中で加熱してください。
100℃以上に加熱しますと、洗浄時に水への溶解度が落ちます。 |
|
|
|
|
| 接 着 性 |
保護膜は、シリコン、アルミニウム、セラミック、金属などに接着します。
重ね合わせて保存しないでください。 |
|
|
|
|
| 膜除去方法 |
保護膜は、有機溶媒には不溶です。メチルアルコールやエチルアルコール中では膨潤します。
水によって溶解します。特に熱水や酸性水溶液によく溶けます。 |
|
|
|
|
安 全 性 |
|
|
|
| 貯蔵は、室温・冷暗所に保存してください。水溶液ですので不燃です。有機酸が少し含まれますので酸性ですが、今までに事故の報告はありません。しかし、他の薬品類と同じく慎重にお取扱いください。 |
|
|
|
|
|
|
|
