真空メカトロニクス

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真空メカトロニクス

  【AML社のご案内】

AML社は1986年に超高真空用のステッピングモーターを開発し、世界で最初に販売を開始した英国のベンチャー企業です。AMLモーターは世界最高水準の技術で多くの販売実績を持ち、これらの商品は世界中の最新式超高真空システムで活躍しています。システム構成も特注、製作が可能ですので是非貴社のシステムに世界が認めるAMLを御採用して頂く事で使いやすく信頼性の高い最新システムを構築して頂き、技術的にも経済的にもより多くの成果を上げられますよう、ご案内申し上げます。

日本では1990年から今日現在まで、 25年ほど、数多くの実績があります。                          詳細ページPDF⇒⇒⇒
&ギヤボックス

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GearBox & Motor

AML超高真空用ステッピングモーターは長年の研究と改良を重ね、特に熱特性とアウトガスに関して抜群の性能を持つ完成された商品です。正確な位置決めや微細な動きについて、外付け駆動機構よりも経済的で信頼性があります。

AMLモーターは1986年以来使用されています確立された技術です。
徹底的なコストダウンを実行したパフォーマンス製品です。
絶縁材料はアウトガス並びに絶縁性が良いポリイミドとPEEK材を使用しています。

実証済みの長寿命ハイブリッド セラミックス製ベアリングはベーキングの繰り返しでも摩擦が少なく塵埃が少ない。

電線の接続はわずか6ケ所でその絶縁に強力なポリイミドが塗布されています。

アウトガスを少なくし、温度の上昇をおさえるため斬新な設計と部品、表面処理がされています。内部スペースは排気のために解放構造としてあります。

表面はエッチングされDLF処理で活性化し、アウトガスを小さくしてあります。
ガス放出の少ない材料、表面処理、ガス抜き構造、温度上昇を小さくした設計としてあります。
真空中で高いトルクで且つ高ステップでSMD2を使って連続運転による評価で出荷しています。
1×10-8Pa以下の超高真空で使用可能。200℃にベーカブル。77Kで使用できます。
対放射線用製品を用意しています(オプション)。
在庫品の中からトルクが30%増しの製品を選択して提供できます。
摩擦部分が少ない故、微粒子の生成が極めて少ないです。

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AMLはUHVステッピング・モーターを搭載したリニア・スライダーを組み合わせたXYZステージ、このステージに自転機構を搭載した4軸駆動機構、更に公転機能を持たせた5軸駆動機構やあおり角度調節機能を付加した6軸駆動機構等、ユニット化された機器要素の組み上げで、UHV用のゴニオメーターが大気中駆動機構と全く同じ感覚で、超精密で且つ低価格でご使用になれます。

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特注の真空用ゴニオメータについては低コストで対応しています。
大気圧側より操作する方法に比べ低コストで高精度となります。

より高い信頼性、正確さ精度及び、より長いストロークは大気側から操作するよりも真空中駆動モーターを使用することにより達成されます。使いやすさと安全性が多くの場合に改善されます。AML真空メカトロニクス製品は全て200℃でベーカブルです。

0.001°の回転精度及び1μmの移送精度は容易に達成されます。反復精度とバックラッシュは可能なレベルで調整することが出来ます。より高い仕様も受けられますがコストとの兼ね合いです。精密な停止は全ての位置でできます。

サンプルの加熱・冷却に対応できます。サンプル交換手段および挿入用ロードロック機構は供給できます。真空内配線はすべて真空用コネクターで取り付けられます。コントローラーと付属品はそのまま利用できます。

  SMD2

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耐放射線Cable

超高真空用SMD2ステッピングモーター用ドライバーは、AMLモーターに適合します。2つのモーターを全面パネルスイッチ又はポータブル操作盤から内蔵プログラムによって、ホストコンピュータ管理の下で連続して運転できます。ドライバーは大気用モーターにも使えます。

1Uラックマウント型で2台のモーターを逐次駆動できます。
ドライブモード分割ステップは(8,4,ハーフ,フル)で自動走行ができます。
相間電流は0.1〜1Aにセットできます。
低電力ドライブ技術でモーターの温度上昇やアウトガスを小さくし高速運転ができます。
保持トルクパワーを小さくするためプログラム制御でダイナミック・トルクと切り離せます。
モーターのベーキングの制御と保護のためモーターの温度を表示(タイプK)します。

ホストコンピュータ制御のためのRS232Cインターフェースが付いています。ドライブ・プログラムはコンピュータ・コンソール(遠隔のプログラム制御)から制御しています。

モーターは、全面パネル「STEP」および「DIRECTION」スイッチ又は手動操作盤で操作できます。
選択した速度で滑らかな加速をするため単パルス・ステップあるいはマルチ・ステップで運転できます。

株式会社ビーム精工
〒144-0035 東京都大田区南蒲田2丁目10番1号大田区産学連携施設102号
TEL:03-5480-6057  FAX:03-5480-6067
E-mail:beamseiko@nifty.com
URL:http://homepage2.nifty.com/besko

当社では、モーター駆動をシステム化することが出来ます。真空容器の製作から出来ますので詳細は左記にお尋ね下さい

販売元八坂テクノス株式会社

 

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